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CLEAN
ROOM
CLASS

입 자

압력

온 도

습 도

기류한
기회수

조도

1,000㎤중의
균의 최대수 (1ft3중의 균의최대수)

1㎣에낙하하는 1주당의 평균수 (1ft3에 낙하하는 1주당의 평균)

입도
μ

누적
입사수
개/ι
(개/ft3)

mmAg

범위

설정치

오차

최고
%

최저
%

오차
%

LUX

CLASS
100

≥0.5

≤3.5
(100)

1.25
이상

19.4
~
25

22.2

±2.8
특별한
경우
±0.28

45

30

±10
특별한
경우
±5

층류방식
0.45㎧
±0.1㎧

1,080
~
1,620

0.0035
(0.1)

(개/㎥week)
(12,900개)
(개/ft3week)
(1,200개)

CLASS
10,000

≥0.5
≥5.0

≤350
(10,000)
≤2.3
(65)

0.0176
(0,5)

64,600개
(6,000개)

CLASS
100,000

≥0.5
≥5.0

≤3,500
(100,000)
≤23
(700)

난류방식
≥20회/
hr

0.0884
(2.5)

323,000개
(30,000개)

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